臭氧（O₃）又称为超氧，是氧气（O₂）的同素异形体，在常温下，它是一种天蓝色腥臭味气体。
一些科学家断定：若自然界没有臭氧，人类会遭受很多额外的灾害，所以对臭氧的评价是：“天赐的净化剂”。
人们对臭氧的感知浓度仅是0.02-0.04ppm，与安全浓度还有一定间距，在室内利用臭氧净化空气，闻到臭氧味时基本已达到消毒的作用，大约在0.02ppm时就会感到空气特别清晰。雷雨之后空气中的清爽感就是由于雷电产生大量的臭氧和负氧离子。
我国环境空气质量标准中规定臭氧的浓度限值（1小时平均）一级标准为0.12mg/m3，二级标准为0.16mg/m3。三级标准为0.2mg/m3。
因此，利用臭氧杀毒灭菌浓度不应过高，臭氧发生器的产量也不是越高越好。
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